场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列
- 仪器名称：场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列
- 仪器型号：FE-1050
- 制造商：纳克微束
- 原产地：中国北京
- 仪器介绍
- 仪器特点
- 仪器参数
仪器名称：场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列
仪器型号：FE-1050系列
制造商：纳克微束
原产地：中国北京
联系电话：010-67802360
FE-1050系列场发射扫描电子显微镜，国内首款领势旗舰机型。
● 在新一代电子光学镜筒的加持下，展现低电压、高分辨的卓越性能。
● 27个端口拓展、大舱室，轻松应对各类成像、分析需求。
● 极简化操作、自动化交互、智能化特征识别统计，成倍提高工作效率。
● 终身售后保障，7*24售后响应。
以“质”为先，以“优”为本，助力微观世界的探索与发现。
型号 | FE-1050系列 | |
1.电子光学系统 | ||
电子枪 | Schottky 场发射型 | |
物镜类型 | 非浸没电磁复合透镜 | |
加速电压 | 0.02-30KV | |
束斑电流 | 10pA 至 30nA（100nA 选配） | |
放大倍数 | 10x - 1,000, 000x | |
分辨率 | SE | 1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV) |
BSE(选配) | 2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV) | |
STEM | 0.8nm（30KV） | |
2.真空系统 | ||
离子泵（IGP） | 25 L/s+2X20L/s | |
涡轮分子泵（TMP） | 250 L/s (N2) | |
前级真空泵 | 15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配） | |
电子枪真空 | <1.0x10-7 Pa | |
主样品室极限真空 | <1.0x10-4 Pa | |
样品室接口数 | 27 个 | |
预抽室 | 50mm 样品托盘自动送样 | |
预抽室光学导航 | ||
3.样品运动平台 | ||
样品台行程 | X | 140mm |
Y | 140mm | |
Z | 60mm | |
R | 连续 360° | |
T | -10°~80° | |
重复定位精度 | X/Y/Z≤1um（选配） | |
样品最大承重 | 5kg | |
4.图像处理系统 | ||
最小驻留时间 | 20ns | |
采集方式 | 4 通道同步采集 | |
最大图像分辨率 | 24kx24k 像素 | |
5.数据处理系统 | ||
CPU | Intel Xeon E5 及以上处理器 | |
内存 | 32G | |
显卡 | 显存≥24G，位宽≥384bit | |
显示器 | 34 英寸超宽屏显示器 | |
控制台 | 人体工程学可升降操控台 | |
6.探测器系统 | ||
检测器 | In-Column SE 探测器 | |
附件（选配） | 斜插式能谱仪（EDS） |
